DV650使用及维护保养
- 分类:真空泵保养
- 作者:
- 来源:
- 发布时间:2021-12-30 15:47
- 访问量:
【概要描述】DV650使用及维护保养 日常维护周期表及耗材 维护保养项目 建议周期 检查油位 1年 换油(合成油) 1年 换油(PFPE油) 4年 清洁冷却水调压阀过滤器 取决于冷却水水质 检查清洁汽镇阀过滤器 取决于环境空气质量 更换吹扫气调压阀滤芯 1年 检查水嘴 1年 检查吹扫气气嘴 1年 大保养(维修中心) 5年(洁净应用)
DV650使用及维护保养
【概要描述】DV650使用及维护保养
日常维护周期表及耗材
维护保养项目 建议周期
检查油位 1年
换油(合成油) 1年
换油(PFPE油) 4年
清洁冷却水调压阀过滤器 取决于冷却水水质
检查清洁汽镇阀过滤器 取决于环境空气质量
更换吹扫气调压阀滤芯 1年
检查水嘴 1年
检查吹扫气气嘴 1年
大保养(维修中心) 5年(洁净应用)
- 分类:真空泵保养
- 作者:
- 来源:
- 发布时间:2021-12-30 15:47
- 访问量:
DV650使用及维护保养

日常维护周期表及耗材
维护保养项目 建议周期
检查油位 1年
换油(合成油) 1年
换油(PFPE油) 4年
清洁冷却水调压阀过滤器 取决于冷却水水质
检查清洁汽镇阀过滤器 取决于环境空气质量
更换吹扫气调压阀滤芯 1年
检查水嘴 1年
检查吹扫气气嘴 1年
大保养(维修中心) 5年(洁净应用)
泵油加注要求
油位过低将危害对轴承和齿轮的润滑,油位过高会造成油进入泵室中,以及导致泵过热;
注油孔必须保证气密性,否则空气从外部进入注油孔,会导致含油气体经由叶轮密封进入泵室。注油塞的建议转矩为10~15Nm
冷却水要求


更换/清洁水路减压器内滤芯:
1闭冷却水管线的进水和回水,用扳手拧开过滤器。
2用干净水清洁滤芯。
3)拧回过滤器,紧固扭矩20Nm。
4)打开冷却水管线的进水和回水,检查是否有泄漏,以及压力设定。

额定流量是冷却水温为35℃时的最小流量,安装时需满足此供水要求。 Pst:静压力,是指供水阀关闭时排水管线上的压力读数。如果冷却水流经后自由排放,Pst=0。
吹扫气体要求(氮气/干燥压缩空气)

1)工作状态,当极限真空满足工艺要求的前提下,对泵最好的保护方式:保
持SV40,SV41,SV42常开;若极限真空无法满足需求,可在抽气阀打开30秒后将SV42关闭,SV41/SV40保持打开:
2)泵在待机状态下,保持SV40、SV41,SV42常开、清除泵内工艺物质和水汽;
3)制程结束停泵前、关闭抽气阀、保持SV40、SV41与SV42打开下泵运行30分钟再停泵,以清除泵内残留的制程物质和水汽,以防止泵因为转子生锈和卡死。
4)停泵后,向泵腔内充注氮气封存。
吹扫气体过滤器更换

更换吹扫气调压阀过滤器:
1)从调压阀上拧下压力杯装保护盖
2)拧下固定装置,取下用过的滤芯;
3)安装上新的滤芯;
手动汽镇阀使用及维护

DV650启动困难的处理方法
由于停泵前泵腔未彻底干燥,长期停放后可能会造成转子生锈卡住,泵无法正常启动。
1)拆下电机端盖板;
2)将螺丝拧紧至电机转子末端螺孔;
3)使用长套筒扳手尝试按照电机转动方向转动转子:
4)转子如能转动顺畅后,还原电机端盖板,再尝试通电启动干泵泵
注意:电机只能往一个方向旋转,螺杆泵不允许反转,否则是干泵无法拧松的。

泵出现过温报警的处理方法
1)确认进水出水压差是否符合规定:进水压力-出水压=25~3bar
2)开出水口,确认水流量是否满足要求:75升/分钟(排查水路是否堵塞)
3)出水口开路情况下运行泵确认是否有改善(排查进出水压差过小)。
4)拆开冷却水加压阀上的滤芯,检查是否有堵塞,并清洁滤芯;(排查滤芯堵塞)
5)确认工作环境温度是否过高,调大冷却水流量;
6)确认泵是否在过高的工作压力范围内运行。