PhoeniXL300i检漏仪使用及维护保养
- 分类：真空泵保养
- 作者：
- 来源：
- 发布时间：2021-12-30 00:01
- 访问量：
【概要描述】如何拆除前后盖板? 1.先关闭PhoeniXL300电源。 2.移除PhoeniXL300主电源线、注意电击危险! 3.将PhoeniXL300j与其他真空组件分开。 4.将PhoeniXL300转成如左图所示的方向。 5.用二个扁平一字形的螺丝起子，以下图的方式由右图中的位置将后盖板从底部橇开。 6这时盖子会向前移动，将缧丝起子向上提可以将盖子整个卸除。7后盖板移开后将左图示中的2位置上4个螺丝松开即可拆除前盖板。
PhoeniXL300i检漏仪使用及维护保养
【概要描述】如何拆除前后盖板?
1.先关闭PhoeniXL300电源。
2.移除PhoeniXL300主电源线、注意电击危险!
3.将PhoeniXL300j与其他真空组件分开。
4.将PhoeniXL300转成如左图所示的方向。
5.用二个扁平一字形的螺丝起子，以下图的方式由右图中的位置将后盖板从底部橇开。
6这时盖子会向前移动，将缧丝起子向上提可以将盖子整个卸除。7后盖板移开后将左图示中的2位置上4个螺丝松开即可拆除前盖板。
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PhoeniXL300i检漏仪使用及维护保养
PhoeniXL300i维护保养项目
项目 周期
吹洗粉尘过滤棉 1000小时/按需
更换前级泵油 2000小时/按需
更换过滤器 4000小时/按需
检修阀门、离子源，前级泵、分子 3-5年/按需(大保养)
如何拆除前后盖板?
1.先关闭PhoeniXL300电源。
2.移除PhoeniXL300主电源线、注意电击危险!
3.将PhoeniXL300j与其他真空组件分开。
4.将PhoeniXL300转成如左图所示的方向。
5.用二个扁平一字形的螺丝起子，以下图的方式由右图中的位置将后盖板从底部橇开。
6这时盖子会向前移动，将缧丝起子向上提可以将盖子整个卸除。7后盖板移开后将左图示中的2位置上4个螺丝松开即可拆除前盖板。
更换D2.5E前级泵油
1.拆解泵时一定要先断开电源，若泵有污染，要先确定污染物质并做到适当的安全防范措施。
2.前级泵的注油及放油口位置如下图所示。
3检漏仪内部D25E的泄油口上连接有放油管，以方便放油。
4.请定期检视油色及油位。
5.D2.5E泵油只能使用LVO310。
6完成保养工作后，机械端的盖子要与底部的开关处妥善装好。
更换排气滤芯
清洁/更换粉尘过滤棉
1.过滤棉目的要隔绝空气中的杂尘进入设备内部。要保持过滤器不阻得气流及保持冷却的效果，所以当过滤棉旱现暗灰色时要清洁或申换。
2.过滤棉位在Turbopump的风扇前端(如下图所示)
3.更换/清洁过滤棉要依前面所指示打开前盖。
更换电路板保险丝 一 根据故障现象判断保险丝问题
