低温泵使用、维护和保养要点
- 分类：真空泵保养
- 作者：
- 来源：
- 发布时间：2021-12-29 18:53
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【概要描述】清洁或更换受污染的障板和冷板(根据实际情况) T2温度0K，T1温度过高---紧固温度传感器紧固螺钉，或更换铟片 待机状态下温度T1，T2正常，带气载状态下温度波动--- 清洁障板，冷板及泵腔、更换铟片(或直接更换冷板)
低温泵使用、维护和保养要点
【概要描述】清洁或更换受污染的障板和冷板(根据实际情况)
T2温度0K，T1温度过高---紧固温度传感器紧固螺钉，或更换铟片
待机状态下温度T1，T2正常，带气载状态下温度波动--- 清洁障板，冷板及泵腔、更换铟片(或直接更换冷板)
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低温泵维护保养的必要性
日常氦气压缩机保养工作
障板冷板保养工作:
清洁或更换受污染的障板和冷板(根据实际情况)
1)T2温度0K，T1温度过高---紧固温度传感器紧固螺钉，或更换铟片;
2)待机状态下温度T1，T2正常，带气载状态下温度波动--- 清洁障板，冷板及泵腔、更换铟片(或直接更换冷板)
低温泵定期大保养-更换活塞（9000小时）
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