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爱发科真空泵ULVAC NRL60A/NRL90A/NRL180A 干式真空泵
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所属分类：爱发科真空泵
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- 电话：13825006202(朱金金)
产品描述
爱发科真空泵ULVAC NRL60A/NRL90A/NRL180A 干式真空泵
特长/Features
NRL系列在低温领域下的均热化除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途/Applications
活性气体(CVD、刻蚀等):
排出非活性气体(我射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。
用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。
冷冻干燥等水蒸气排气。
关键词:
爱发科真空泵ULVAC NRL60A/NRL90A/NRL180A 干式真空泵
