真空泵维修
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维修
HANBELL汉钟PS1302螺杆泵维修保养
HANBELL汉钟PS1302螺杆泵维修保养
PS1302 HANBELL 汉钟干式螺旋真空泵主要点有: 1. 真空泵结构简单,组件少,故障率低。 2. 干式运转,制程气体与粉尘完全不会接触到真空油,因此能被顺利排出真空泵。 3. 真空泵真空油不与制成气体接触,不需更换真空油。 4. 采用水冷密封电机,电机温度低,电机寿命长。 5. 真空度佳,真空度可达4x10-4mbar。 6. 运转噪音低<70dBA。 7. 因为无磨擦组件,真空泵寿命长,转子与壳体不接触,运转效率高,消耗电流低。 真空泵浦 (Vacuum Pump)也可写为真空帮浦或是真空泵浦。汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,终极压力可达7.5 × 10-3 Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。 干式螺旋真空泵浦 S/N型为无罩式的干式螺旋真空泵浦机型。 干式螺旋真空泵浦 S/N型的型号有:PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。 干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 产品特色: 1. 泵浦 (Pump) 温度控制精准 干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦 (Vacuum Pump)的寿命。 2. 密封马达安全性高 真空泵浦亦全面采用专利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险。 3. 微电脑控制保护周全 真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产业。
2023-07-14
07-14
2023
HANBELL汉钟PS902螺杆泵维修保养
HANBELL汉钟PS902螺杆泵维修保养
PS902系列螺杆真空泵定螺距螺杆转 1、结构简单,故障率低,成本较低,易维修 2、高压段功耗相对低,适用于高负载应用场合3 排气路径短,减少反应物沉积 适用一般真空镀膜、烤箱、热处理、太阳能产业、半导体面板业制程 PS系列螺杆真空泵型号:PS80、PS160、PS180、PS902PS1302、PS1802 PD系列螺杆真空泵高压段抽速快 能耗可降低30%以上 气冷马达机型可搭配自循环冷却系统,能使用在无冷却水的系统环境 可提供符合ATEX标准的产品 变螺距螺杆转子特点: 1,运行温度低,适用于要求泵体表面及排气温度低的场合。 2,运转功耗低,适用于轻负载应用场合,更节能。 3、运行噪音更低,适用干运行噪音低的场合,如:贴合机,无尘室, 4,相同长度转子,抽气量更大。适用于大抽气量的真空需求。压力:≤7.5*10-3Torr ≤0.01 mbar≤1 pa 汉钟PS系列 PD系列维修 维修步骤 1、螺杆泵来料检验,真空度、运行时间、振动值、驱动器、电气参数。 2、全部拆卸,油污清洁,打磨。 3、按“螺杆泵维修处理通知单”更换所必需的零件,如:轴承、轴套、套筒、密封圈、齿轮,以确保可靠的优质服务和泵浦使用寿命。 4、泵的平衡,利用平衡和分析设备,调试佳的状态,以减少噪音、振动 延长轴承寿命。 5 后的测试检查,参照原厂参数检测,结合客人实际要求与螺杆泵磨损
2023-07-14
07-14
2023
HANBELL汉钟PS602螺杆泵维修保养
HANBELL汉钟PS602螺杆泵维修保养
PS602汉钟螺杆泵维修是我公司的强项之一。PS系列干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命。 PS系列真空泵浦亦全面采用优良设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可避免制程气体外漏的风险。 微电脑控制保护周全 PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求比较严之产业。 螺杆泵运行时,发现下列异常现象后,PS602汉钟螺杆泵维修必须进行仔细的调查流量下降,机械密封,及噪音和真空度。 机械密封发热:密封液管路堵塞;机械密封弹簧压缩量过大。解决方案是排除密封管路故障;减小弹簧压缩量。、机械密封大量漏油:装配位置不对;密封压盖未压平;动环或静环密封面碰伤;动环或静环密封圈损坏。解决方案是重新按要求安装;调整密封压盖;研磨密封面或更换新件;更换密封圈 轴功率急剧增大:排出管路堵塞;螺杆与泵套严重摩擦;介质粘度太大;安装不正,转动部件不同心。解决方案是停泵清洗管路;检修或更换有关零件;将介质升温,降低黏度;调整校正装配和安装精度
2023-07-14
07-14
2023
HANBELL汉钟PS80螺杆泵维修保养
HANBELL汉钟PS80螺杆泵维修保养
PS系列螺杆真空泵定螺距螺杆转子特点: 1、结构简单,故障率低,成本较低,易维修 2、高压段功耗相对低,适用于高负载应用场合3 排气路径短,减少反应物沉积 适用一般真空镀膜、烤箱、热处理、太阳能产业、半导体面板业制程 PS系列螺杆真空泵型号:PS80、PS160、PS180、PS902PS1302、PS1802 PD系列螺杆真空泵高压段抽速快 能耗可降低30%以上 气冷马达机型可搭配自循环冷却系统,能使用在无冷却水的系统环境 可提供符合ATEX标准的产品 变螺距螺杆转子特点: 1,运行温度低,适用于要求泵体表面及排气温度低的场合。 2,运转功耗低,适用于轻负载应用场合,更节能。 3、运行噪音更低,适用干运行噪音低的场合,如:贴合机,无尘室, 4,相同长度转子,抽气量更大。适用于大抽气量的真空需求。压力:≤7.5*10-3Torr ≤0.01 mbar≤1 pa 汉钟PS系列 PD系列维修 维修步骤 1、螺杆泵来料检验,真空度、运行时间、振动值、驱动器、电气参数。 2、全部拆卸,油污清洁,打磨。 3、按“螺杆泵维修处理通知单”更换所必需的零件,如:轴承、轴套、套筒、密封圈、齿轮,以确保可靠的优质服务和泵浦使用寿命。 4、泵的平衡,利用平衡和分析设备,调试佳的状态,以减少噪音、振动 延长轴承寿命。 5 后的测试检查,参照原厂参数检测,结合客人实际要求与螺杆泵磨损
2023-07-14
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